電子特氣輸氣系統(tǒng)設(shè)備配置規(guī)范
電子特種氣體管道系統(tǒng)
1、GC、GR可使用單工藝氣瓶外置吹掃氮?dú)猓ㄔ矗┢浚▎纹啃停?，外置雙工藝氣瓶 內(nèi)置吹掃氮?dú)夂蛢?nèi)置雙工藝氣瓶等多種結(jié)構(gòu)配置吹掃氮?dú)狻?br/>
2、GC、GR應(yīng)設(shè)置工作氣面板。
3、系統(tǒng)的供給能力應(yīng)通過熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算驗(yàn)證。
4、氣瓶柜關(guān)閉時，負(fù)壓不小于100Pa，柜內(nèi)換氣次數(shù)不小于300次/H。
5、GC板的厚度不應(yīng)小于2.5mm，并應(yīng)有腐蝕涂層。
6、GC門應(yīng)具有自動關(guān)閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗。地腳螺栓的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)乜拐鹪O(shè)防烈度的要求。
電子特種氣體管道系統(tǒng)
特殊氣體系統(tǒng)安全要求
1. 嚴(yán)禁將不相容的氣瓶放在同一氣瓶柜或氣瓶架內(nèi)。
2、天然、易燃、有毒、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排氣口安裝氣體檢漏儀。
3、GC、GR應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)志
那么電子供氣系統(tǒng)的配置有哪些要求呢？
電子輸氣系統(tǒng)非常安全，對設(shè)備配置有很多要求。在操作設(shè)計(jì)上也有很多要求。本節(jié)主要介紹電子氣體輸送系統(tǒng)的安裝規(guī)范和特種氣體系統(tǒng)的安全要求。
電子特氣管道供氣系統(tǒng)概述
在現(xiàn)代半導(dǎo)體、科研實(shí)驗(yàn)室、綜合工廠的集中供氣系統(tǒng)中，氣瓶柜、氣瓶架已經(jīng)成為氣瓶氣體的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，那么這些GR對GC的配置有哪些要求呢？相信很多業(yè)主和用戶都沒有一個明確的概念。只有了解了標(biāo)準(zhǔn)化要求，才能在工廠和實(shí)驗(yàn)室建設(shè)中合理規(guī)劃布局和安全使用。
