TFT-LCD制造工藝過程需要用到多種超高純的特種氣體，根據(jù)TFT陣列工藝中的各種膜的組成結(jié)構(gòu),分析了特氣在成膜、刻蝕和清洗等工藝過程中的主要物理和化學(xué)過程。
工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體SiH4，NH3，CL2等，特氣輸送系統(tǒng)就是把以上各種特種氣體安全、穩(wěn)定的、以滿足工藝制程要求的壓力和流量等供應(yīng)至工藝設(shè)備，并且特氣系統(tǒng)本身在供應(yīng)輸送過程中不會對特種氣體產(chǎn)生二次污染。
服務(wù)范圍：為客戶設(shè)計(jì)整套特氣系統(tǒng)方案（除特氣供應(yīng)），特氣設(shè)備選型、配置設(shè)計(jì)至相應(yīng)配套的工藝管道布置安裝，為客戶提供符合工藝需求的特氣輸送成套系統(tǒng)，并按客戶要求進(jìn)行針對空間管理及需求配置。
