特氣系統(tǒng)是用于保證特種氣體安全使用的系統(tǒng)，大致由特氣設(shè)備、特種氣體管道和使用終端三部分組成，其中，特氣柜是特氣系統(tǒng)的核心設(shè)備，關(guān)系著穩(wěn)定輸送氣體、保證特種氣體的使用安全和人員安全等功能。特種氣體的氣體...
2021-12-15 
電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支，是集成電路（IC）、顯示面板（LCD、OLED）、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料，廣泛應(yīng)用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝...
2021-12-15 
前言：一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡單描述。一：概念 特氣輸送系統(tǒng)是指：...
2021-12-15 
316L潔凈不銹鋼管道在高純氣體輸送中的意義316L潔凈不銹鋼管道多應(yīng)用在應(yīng)用領(lǐng)域: 高純和超 高純氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體等特殊氣體管路系統(tǒng)，二次配管，以及其 他一些氣體設(shè)備。在不銹鋼熔煉制材過...
2021-12-09 
電子特氣管道系統(tǒng)GDS探測器的安裝要求電子特氣管道系統(tǒng)GDS探測器特種氣體探測器在使用過程中經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)安裝不規(guī)范、誤報(bào)警、故障報(bào)警率高等問題，嚴(yán)重影響著企業(yè)的生產(chǎn)安全。分析了電子特氣管道系統(tǒng)GDS探測...
2021-11-24 
電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法種類：特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管...
2021-11-24 
電子特氣管道高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)特種氣體的供應(yīng)方式截至目前為止，幾乎皆用鋼瓶的方式進(jìn)行。一般常用的為高壓鋼瓶，依其填充的氣體特性有分為氣態(tài)和液態(tài)兩種。一般氣體依液態(tài)儲(chǔ)存于鋼瓶內(nèi)，瓶內(nèi)壓力較高，所以最...
2021-11-24 
特種氣體輸送系統(tǒng)的配置有哪些規(guī)定？特種氣體輸送系統(tǒng)非常講究安全，對(duì)設(shè)備配置有很多規(guī)范，在操作設(shè)計(jì)上也有很多的要求，這里主要介紹下特種氣體輸送系統(tǒng)設(shè)備配置規(guī)范及特氣系統(tǒng)安全要求。特種氣體輸送系統(tǒng)概述在現(xiàn)...
2021-11-09