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商品類型：特氣柜GC/特氣架GR
上架時(shí)間：2021-11-06
產(chǎn)品描述：特氣柜主要用要供應(yīng)特種氣體，如易燃，易爆，劇毒等，主要用于半導(dǎo)體和LED的新興行業(yè)。
咨詢電話：0791-88861517
三瓶全自動(dòng)特氣柜
規(guī)格：三瓶工藝氣瓶，全自動(dòng)，帶吹掃N2
■ 特氣柜尺寸：W1100寬×D500深×H1800高
■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口
■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口
■ 氣動(dòng)隔膜閥：CDA驅(qū)動(dòng)，1/4"卡套接口
■ VENT排空管：1/2MVCR接口
■ 工藝氣體出口：2個(gè)，1/4"MVCR接口
■ 盤面規(guī)格：1/4"盤面
■ 標(biāo)準(zhǔn)配備：自動(dòng)切換，防爆防腐柜體，雙開防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報(bào)警，遠(yuǎn)程切斷，欠壓報(bào)警，主材SS316L
■ 柜體換氣量:4"排氣口，1200次/小時(shí)
■ 控制柜尺寸：W1100寬×D230深×H320高
■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護(hù)
■ 操作界面：7"彩色觸摸屏
■ 選配：工藝氣瓶重量監(jiān)控器，工藝氣體超壓報(bào)警，盤面加熱及溫控裝置，報(bào)警信號(hào)手機(jī)短信與電話通知
適用范圍：
應(yīng)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備上，適用于芯片半導(dǎo)體、光伏太陽能電池、生物醫(yī)藥工程、微電子新材料等行業(yè)。
